半导体无尘车间检测，蓝景尘埃粒子计数器守护精密制造品质

2026/10/21 10:43 I 阅读：3

半导体芯片、精密元器件制造对车间洁净等级要求严苛，微小尘埃颗粒就可能造成晶圆短路、光刻缺陷、产品报废，洁净度常态化巡检、设备过滤器检漏、车间分级验收，都需要稳定可靠的粒子计数设备。蓝景智能尘埃粒子计数器，六通道同步检测，光学信噪比优异，适配电子半导体、精密机械无尘车间的洁净管控需求。

仪器采用进口半导体激光光源，光源寿命超 30000 小时，光散射传感器优化杂散光抑制结构，减少光学噪声，低浓度粒子识别更精准，测量重复相对误差＜10%，流量误差≤±5%，保障多次平行采样结果一致性。六粒径通道覆盖 0.3μm 至 10.0μm 全范围，半导体行业重点关注的 0.3μm、0.5μm 粒子可同步采集，实时显示各通道粒子浓度变化，仪器内置算法自动完成 95% 置信度 UCL 计算，自动对照 ISO14644 判定洁净等级，快速判定车间是否达标。

内置温湿度、气压传感器，同步记录采样时环境工况，帮助工程师分析温湿度变化对粒子漂浮、静电扬尘带来的影响。安卓智能操作系统支持自定义采样配置方案，不同工艺车间、不同验收标准的采样参数提前保存，巡检时一键调用，提升多点巡检效率。数据支持 WiFi 上传监管平台，长期汇总洁净度趋势，快速定位产线局部超标点位；U 盘免驱导出、现场热敏打印，方便现场随测随出报告，配合第三方验收。

交直流两用设计，内置锂电池，脱离电源后可在车间内部多点移动巡检，搭配伸缩云台支架，采样头固定稳定，避免手持晃动带来采样偏差。采样模式丰富，单次、批量循环、连续采样可选，超标自动报警，及时发现过滤器破损、风口泄漏、人员带入污染等异常。仪器自净时间≤10min，测试完成后快速自净，避免交叉污染。整机小巧轻便，尺寸 185220200mm，裸机仅 3.25kg，便于工程师携带穿梭在光刻、封装、测试等不同洁净区域。适配半导体工厂、精密加工、光学元件无尘车间，帮助企业常态化监控洁净环境，提前发现污染隐患，降低精密产品不良率。